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spp住友 潔凈臭氧發(fā)生器 FPD GRC系列 GRC-RXA / GRC-RG

更新時間:2023-12-21      瀏覽次數(shù):326

產(chǎn)品介紹

潔凈臭氧發(fā)生器

住友的臭氧發(fā)生器采用板放電方式,利用電能將部分原料氣體轉(zhuǎn)化為臭氧。
采用高純度陶瓷放電表面來產(chǎn)生清潔的臭氧氣體,最大限度地減少顆粒和金屬污染的產(chǎn)生。作為排放方式,我們實現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)的先的臭氧濃度400g/m 3 (N)。
此外,我們還使用我們獨的特的技術(shù)來處理無氮臭氧發(fā)生器,以防止金屬污染。
被眾多客戶在半導(dǎo)體、液晶等制造過程中的干法和濕法工藝中使用,并獲得了好評。

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體

  • 各種晶圓

  • FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)

  • 光罩

  • 引的領(lǐng)

  • 其他電子器件材料的干法和濕法工藝

GRC系列

這是一個標(biāo)準(zhǔn)系列,最大濃度為400g/m 3 (N)。

規(guī)格
臭氧流量1L/min~24L/min
[210g/m 3 (N)]
臭氧供給壓力最大0.2MPa
冷卻水溫度20℃±2℃
氮添加率氧氣流量的0.1%
外形尺寸寬483毫米×深453毫米×高266毫米
重量30~45公斤
電源AC200V 3相
特征
產(chǎn)生400g/m 3 (N)的高濃度臭氧
可安裝在19英寸機架上的單元類型
從小流量到大流量的豐富產(chǎn)品陣容
高可靠性放電電池,耐壓高,壽命長
快速上升和出色的濃度響應(yīng)
通過連接臭氧濃度計(反饋控制)實現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL認(rèn)證,符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
燃?xì)夤艿揽蛇x用氟樹脂和SUS鋼。

     

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