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Avantes 適用于半導體應用 AvaSpec-ULS2048CL-EVO 光譜儀

更新時間:2024-03-31      瀏覽次數(shù):326

Avantes 適用于半導體應用  AvaSpec-ULS2048CL-EVO 光譜儀

近實時分析

半導體行業(yè)可以在其工藝的各個階段從光譜測量中獲得顯著

的好處。基于光纖的光譜儀為行業(yè)提供了巨大的價值,因為

它們能夠促進加工環(huán)境中的原位測量和近實時分析。

Avantes 適用于半導體應用,例如等離子體離子蝕刻、離子

束蝕刻、光刻膠剝離和化學/機械拋光的終點檢測。儀器配置

也已部署在薄膜計量(在線和離線)和等離子體診斷環(huán)境中。


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我們 EVO 系列的另一位成員:AvaSpec-ULS2048CL-EVO。

該光譜儀采用 CMOS 代替?zhèn)鹘y(tǒng)的 CCD 技術,完的全是最的新的,

并為下一個十年做好了準備。

CCD 探測器在光譜儀領域的主導地位正在減弱,CMOS 等新

技術已經(jīng)發(fā)展并成為合適的替代品。AvaSpec-ULS2048CL-E

VO 為您提供這項最的新的技術,確保未來幾年的光譜儀平臺。

與我們最新的 AS-7010 電子器件相結合,AvaSpec-ULS2048

CL-EVO 為您提供了一款多功能設備,包括速度比 USB2 高十

倍的 USB3.0 通信,以及提供千兆以太網(wǎng)以集成到您公司網(wǎng)絡

中的第二個通信端口以及遠距離通信的可能性,而且價格實惠。

除了高速通信選項外,EVO 系列光譜儀還提供快速微處理器和

50 倍以上的內(nèi)存容量,可以幫助您在機上存儲更多光譜并實現(xiàn)

更多功能。

選項包括用于增強 200-1100 nm 范圍內(nèi)靈敏度的探測器收集透

鏡和用于減少二階效應的階次排序濾波器。此外,AvaSpec-20

48CL 還提供各種狹縫尺寸、光柵和光纖入口連接器。

它配有 AvaSoft-Basic 軟件、USB 電纜和內(nèi)容豐富的手冊。

AvaSpec-ULS2048CL-EVO 還可作為 OEM 裝置、臺式或機架

安裝版本提供。



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